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二氧化碳水发生器 C系列

二氧化碳水发生器是一款应用在半导体领域的超纯水防静电装置,通过独特的中空纤维模块将二氧化碳气体与超纯水混合,能够提高超纯水的导电性,降低电阻率,有效防止生产制程中的静电危害。

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产品特点

免维护,使用寿命长

电阻率控制稳定,电阻率范围可实现0.02-1.0MΩ·CM

采用超纯发生技术与超纯材料及工艺制造,避免、减少金属污染及析出

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