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臭氧水杀菌系统专为电子行业杀菌、清洗应用而开发设计,系统采用半导体级臭氧气体发生器以及纳米气泡混合技术,对工艺水进行杀菌处理,可有效去除Wet湿制程机台内所有细菌,延长PM洗管周期,提高产能降低费用以及保障良率。
0532-8499-2387
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臭氧水输出稳定,水流量可控、可调,流量范围可实现50-200L/min不同规格的输出
应用洁净高效混合与控制技术,臭氧水溶浓度实现0.1-10ppm,系统可配置臭氧水浓度检测装置
设备具有节能模式,实现高低浓度切换,本地远程操作以及模块化设计
设备具有互锁、联动保护功能,发生异常及时进行有效警示与保护
设备可与外部进行RS485通讯,实现数据传送以及进行远程控制
银河官方网站7163半导体产品宣传册
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