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氨水发生器

氨水发生器是一款应用在半导体工业领域,提供超纯氨水的小型独立系统。采用气液混合的方式,将高纯氨气和超纯水混合,可以对外持续供给电子级氨水,流量可定制。系统采用闭环控制技术,满足不同用量工况下氨水浓度稳定。 

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产品特点

响应速度快,调整时间短

控制精度高,氨水浓度稳定,电导率控制范围5-40us/cm

氨水出水压力恒定,输出压力区间可调

通过质量流量控制系统实现精确地氨气剂量投加

采用超纯发生技术与超纯材料及工艺制造,避免、减少金属污染及析出

集成度高,易于安装和操作

自学习功能,快速适用多种工况

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