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采用高浓度、超纯净、深度精细工艺的臭氧实现技术是该发生器实现的基础。臭氧被电子工业用于形成 CVD 和 ALD 薄膜、氧化物生长、光刻胶去除和多种清洁应用。GTC发生器能够产生高浓度、大量流量、高压力的超洁净臭氧,整体模块化,结构紧凑,简洁、可视化外观。
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臭氧浓度高
臭氧输出压力高
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采用超纯臭氧发生技术
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